公司生产的溅射薄膜压力传感器、变送器市场反应良好

溅射薄膜工艺在国际上是领先的，具有前沿性技术水准。它延用了测量压力的金属弹型膜片原理，再注入新的离子束溅射等先进工艺手段和微机械加工方法，制成敏感压力的桥路电阻，使它具有如下特点：   
1、不锈钢类型的弹性膜片材料（17-4PH）耐腐蚀；无隔离膜片，不用灌油充液，体积小，质量轻；     
2、没有PN结带来的高、低温误差大和工作温区小的问题；   
3、不受原始贴片方法带来的蠕变、老化缺陷的影响，测量压力稳定性好。

归纳起来，这种溅射薄膜压力敏感元件及其压力传感器的优点为宽的工作温度范围（敏感元件为-40~+200°C，整机为-40~+150°C），温度漂移小0.001%°C；测量压力范围宽（0.7MPa~220MPa）；体积小（敏感膜片直径仅为Φ7mm），金属一体化结构，结实可靠；测量精度可达0.05%（包括非线性、迟滞和重复性）；在-40~+150°C工作条件下精度为±0.25%；高稳定性，（1000万次压力循环，其漂移量< 0.1%）；过裁压力为1.4~2.2倍。

    北京中瑞能仪表技术有限公司专业生产压力传感器、变送器，中瑞能仪表技术有限公司利用这种压力敏感元件可制成适用工业各领域使用的压力传感器。特别是它的高可靠性，高稳定性，宽温度范围和小体积轻质量的特点，更适用于航天、航空、坦克、兵器、舰船等军事部门，它的批量生产能力，亦适用于大量使用的汽车工业。它的耐腐蚀性能力，可为石油、化工行业测量压力服务。

ZRN201 溅射薄膜压力传感器、压力变送器
薄膜式压力传感器采用进口的溅射合金薄膜压力敏感元件结合先进的加工工艺技术制作而成。压力介质直接作用的14-4PH不锈钢膜片上

制作了组成惠斯登电桥的合金薄膜应变单元，该合金材料以分子形式在弹性体上淀积成薄膜应变电阻，薄膜电阻与弹性体以分子键合“融”为

一体，可长期在-40～150℃工作温度下稳定工作。
生产过程中传感器经过了严格的高、低温循环，经过了两行次的疲劳处理。产品具有准确度高，工作温度范围宽，温漂小，高稳定，高

稳定，抗振动，抗冲击，抗辐射的工作特点。使用激光焊（电子束焊等）。将溅射薄膜式压力敏感元件与不锈钢压力接头焊为一体。结构件材

料为17-4PH不锈钢，能在各种恶劣环境下长期稳定的工作。
广泛应用于航空、航天、交通、水利、电力、工程机械、汽车制造、船舶制造、石油化工、冶金制造、医疗设备、食品加工等多种自控

和测量行业。

主要技术参数
量 程: 0～1～150(MPa)
综合精度: 0.1%FS、0.2%FS、0.5%FS
输出信号: 1.0mV/V、1.5mV/V
供电电压: 10DCV(6～12DCV)
介质温度: -20～175℃
环境温度: 常温(-20～85℃)
外 形:M10×Φ17(Φ14,Φ19)×52
绝缘电阻: 大于2000MΩ (100VDC)
密封等级: IP65
长期稳定性能: 0.1%FS/年
振动影响: 在机械振动频率20Hz～1000Hz内，输出变化小于0.1%FS
电气接口(信号接口): 高温引出线
机械连接(螺纹接口): M10×1P、M12×1，其它螺纹可依据客户要求设计

本文章来自于：北京中瑞能仪表技术有限公司

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